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紅外氣體傳感器SiF4/WF6/CF4/SF6/NF3/CO2

紅外氣體傳感器是由四方光電自主研發(fā)的高性能氣體傳感器,，產品基于非分光紅外技術(NDIR),能夠精確測量半導體等應用中產生的SiF4、WF6,、CF4、SF6、NF3,、CO2等氣體,兼容機臺內常見預留尺寸,、法蘭和通訊協(xié)議,，可用于半導體沉積和清洗工藝的端點檢測、腔室清理終端檢測,能夠減少清潔時間,節(jié)約成本,提高產量,。
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產品特性

技術參數

檢測原理 NDIR
檢測氣體 SiF4,、WF6,、CF4、SF6,、NF3,、CO2
量程 1~264ppm(0~200mTorr)
重復性 ±0.5%
線性 ±1%F.S.
檢測限 1ppm
以上功能和規(guī)格請以正式產品技術規(guī)格書為準。如需獲取更多技術信息,，請聯系：027-81628813
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