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四方光電塵埃粒子計(jì)數(shù)器精準(zhǔn)監(jiān)測(cè)微粒污染,，助力顯示面板制程良率提升

  受益于下游電視,、電腦、手機(jī)等消費(fèi)類電子產(chǎn)品以及商顯,、車載,、醫(yī)療等專顯產(chǎn)品需求的推動(dòng)，近年來中國顯示面板市場(chǎng)規(guī)模整體呈增長(zhǎng)態(tài)勢(shì),，由2016年的2984億元增長(zhǎng)至2023的5694億元,，但整體增速逐步趨緩，市場(chǎng)競(jìng)爭(zhēng)進(jìn)一步加劇,。中大尺寸市場(chǎng)仍由LCD技術(shù)主導(dǎo),，但競(jìng)爭(zhēng)格局較為固定，需要進(jìn)一步提升產(chǎn)品良率,，降本增效,，以提升產(chǎn)品利潤(rùn)和競(jìng)爭(zhēng)力。OLED技術(shù)逐漸成熟,，占領(lǐng)小尺寸市場(chǎng),，但與LCD相比在工藝成熟度和產(chǎn)品良率上仍有較大的提升空間。綜上,，在LCD和OLED面板的制造中,，產(chǎn)品良率提升都是下一階段需要迫切解決的問題。




  平板顯示制程良率受微粒污染和靜電損害影響

  以TFT-LCD為代表的顯示面板生產(chǎn)過程主要有三個(gè)工序 Array,、Cell 和 Module,，制造程序復(fù)雜，制造過程中需要進(jìn)行嚴(yán)格的環(huán)境管控,，減少對(duì)產(chǎn)品的損害,。OLED因其構(gòu)造簡(jiǎn)單，制造流程不像LCD那樣復(fù)雜,，但也需要在潔凈環(huán)境中生產(chǎn),。在平板顯示制程中影響產(chǎn)品良率的污染物有很多，包括金屬離子,、氣態(tài)分子污染物,、微粒、細(xì)菌以及靜電等，其中對(duì)LCD和OLED制程良率影響最大的是微粒污染和靜電損害,。

  · 微粒污染

  隨著器件微型化和精細(xì)化進(jìn)程的加快,，高密度的集成電路的圖形特征尺寸和表面沉積層的厚度都已經(jīng)降到微米級(jí)別，更容易受到微粒的影響,，基板表面微粒沉積,，易引起基板點(diǎn)缺陷甚至線缺陷特性不良，降低良品率,。

  · 靜電顆粒吸附污染

  靜電的產(chǎn)生是因?yàn)槊恳环N材料的電子能級(jí)不同,，兩種不同材料在接觸時(shí)會(huì)發(fā)生電荷轉(zhuǎn)移。由于靜電的負(fù)面效應(yīng),，使得保持高水準(zhǔn)的產(chǎn)品質(zhì)量和產(chǎn)品良率更加困難,。平板顯示制程中常見靜電損害主要有ESA（顆粒吸附）污染、ESD（靜電放電）污染和電磁波干擾引起的設(shè)備故障三種,。其中ESA污染是因?yàn)楫a(chǎn)品制程中的移動(dòng)會(huì)造成產(chǎn)品表面有靜電場(chǎng)的存在,，它的靜電場(chǎng)會(huì)把附近的微粒吸引到它的表面，并且其吸力較大,，極難在沒有機(jī)械力的情形下清除,。微粒的靜電吸附，增加了芯片表面的污染,，進(jìn)而降低了良率,。




  所以為了提高平板顯示制程良率，在控制靜電損害的同時(shí),，也要重視對(duì)于微粒的監(jiān)測(cè),，保證生產(chǎn)環(huán)境的潔凈度。通過實(shí)時(shí)監(jiān)控微粒的變化參數(shù),，如果微粒超標(biāo)可以及時(shí)發(fā)現(xiàn),，采取針對(duì)性措施進(jìn)行防控改善，以減少落在芯片和設(shè)備表面的微塵粒子,，降低因?yàn)槲⒘１旧砗挽o電微粒吸附（ESA）造成的產(chǎn)品損壞,，提高良率。

  四方光電研制的在線塵埃粒子計(jì)數(shù)器可以實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)潔凈車間中單位體積內(nèi)空氣中不同粒徑的懸浮顆粒物的個(gè)數(shù),，并通過3.5寸觸摸屏顯示粒徑信息和警報(bào)提示,，當(dāng)微粒超標(biāo)時(shí)可通過內(nèi)置蜂鳴器報(bào)警，能有效應(yīng)用于面板生產(chǎn)潔凈車間中,，滿足監(jiān)測(cè)需求,。四方光電在線塵埃粒子計(jì)數(shù)器OPC-6303DS/OPC-6510DS/OPC-6511DS采用光學(xué)散射原理，內(nèi)置四方光電獨(dú)有的塵源智能識(shí)別模塊,，具有高效粒子識(shí)別率,，檢測(cè)精度高；內(nèi)置超聲波氣體流量傳感器，實(shí)現(xiàn)28.3L恒流采樣,，數(shù)據(jù)長(zhǎng)期穩(wěn)定性高,；低噪音渦輪風(fēng)機(jī)采樣,，連續(xù)監(jiān)測(cè)穩(wěn)定性好,，壽命長(zhǎng)；滿足IS014644-1:2015,、新版GMP,、JF1190-2008、GB/T6167-2007標(biāo)準(zhǔn),，廣泛應(yīng)用于百級(jí),、千級(jí)、萬級(jí),、十萬級(jí)等潔凈室環(huán)境,。